３．DXFのエキスポート修正、カーブ形状図形の新しいスキーム（マスクの高精度化） シミュレーションそのものはユーザの指定するメッシュで計算するために、計算精度はユーザ管理である。 DXFもprecisionをユーザが入力することで精度の制御が可能であるが、今回更に高精度化を図った。 a) カーブ図形以外では、DXFのフォーマットを多点(multipoint)から多角形(polygon)へ変更 　　ファイルサイズが小さくなり、精度も向上 b) カーブ図形（楕円、リング、円弧）には図3-1の新スキームを導入した。 図3-1 半円を描いたときの旧スキーム（左）と新スキーム（右）の相違 伝搬軸に近い図形では従来手法で問題なかったが、大きな半径のリングなどではマスク精度が得られなかった点を改善。 図3-2 新スキームでの図形エキスポート 図3-3 エキスポート図形をautoCADに読み込んだ状態 （残されている課題） 図3-4 残されている課題 (a) 円弧であるためにRingのエッチングは最終端で閉じていない .(b) マージした図形全体が選択できない